Лазер для печати шаблонов для микросхем разработали в Новосибирске

Разработчики уже создали предсерийный прототип для испытаний на белорусском предприятии. Об этом сообщили в компании-разработчике «Оптические технологии»*.
Как сообщили в ТАСС, сославшись на информацию компании, специалисты «Оптических технологий» создали лазерную систему (аналог американских лазеров Coherent) для печати шаблонов с помощью ультрафиолета при изготовлении микросхем. Фотошаблон** здесь нужен для нанесения рисунка на тонкую пластину материала.
По словам представителя «Оптических технологий», разработка создана для импортзамещения американского лазера Coherent на 257 нанометров, поэтому и оборудование, и фоторезисторы подстроены именно под эту длину волны. Сам программно-аппаратный комплекс состоит из лазера и волоконного усилителя. Внутри системы — кристалл для преобразования частоты лазерного света. Как уточнил специалист, в РФ аналогов такой аппаратуры нет, так как она узкоспециализированнная.
На данный момент уже создан предсерийный прототип, его будут испытывать на белорусском предприятии электронной промышленности «Планар». Особенность новой системы — низкое энергопотребление (1 ватт энергии). Это снижает траты на электроэнергию и повышает эффективность производства.
СПРАВКА
*ООО «Оптические технологии» базируется в Академпарке. По данным Rusprofile, она создана в 2022 г. Основной вид деятельности — научные исследования и разработки в области естественных и технических наук. Ее выручка за 2024 г. снизилась на 17% (до 4 млн руб.), прибыль снизилась на 43%.
**Фотошаблон — тонкая пленка с рисунком, соответствующим необходимой схеме на поверхности кремниевой пластины.